|
ÁÖ½Äȸ»ç ¿¡ÀÌÇÇÅØÀº ¸ðµç ÀÏ¹Ý »ê¾÷ºÐ¾ß, ´ëÇבּ¸¼Ò ,¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷
ºÎºÐµî Àü »ê¾÷ ºÐ¾ß¿¡ ´Ù¿ëµµ ·Î »ç¿ëµÇ´Â Fei Company (USA) »çÀÇ
ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ ( SEM / TEM ) ¹× À̿ Áý¼Ó ÀåÄ¡ ( FIB : Focused
Ion Beam) ÀÇ Çѱ¹³» ¿µ¾÷ ¼³Ä¡ À¯Áö º¸¼ö¾÷¹«¿Í ¿¬°üµÈ ±â¼ú Áö¿øÀ»
Àϰý Áö¿ø ÇÏ´Â ¾÷ ¹«¸¦ ¼öÇàÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀüÀÚÇö¹Ì°æ
±â¼ú¹ßÀüÀ» ¼±µµÇÏ´Â FEI Company (http://www.feicompany.com) ÀÇ ÁÖ¿ä
Product ¸¦ °£·«È÷ ¼Ò°³ÇÏ¸é ¿ì¼± ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ (SEM) , Åõ°ú ÀüÀÚ
Çö¹Ì°æ ( TEM ) ±×¸®°í À̿ ºö Áý¼Ó ÀåÄ¡( FIB ) µîÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.
À̵é Á¦Ç° Áß SEM °ú TEM Àº ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼ °¡Àå ¾Õ¼¼ ±â¼ú °³¹ßÀ»
ÁÖµµÇؿ Netherlands Philips »çÀÇ Electron Optic Division ¹× °ü·Ã
ÀηÂ, ½Ã¼³ À» ÀμöÇÏ¿© °íÀ¯ Á¦Ç°ÀÎ FIB ¿Í ´õºÒ¾î ÀÏ·ÃÀÇ Á¦Ç°±ºÀ»
ÀÌ·ç¾ú½À´Ï´Ù.
|
|

|
À̷μ ¿¡ÀÌÇÇÅØ¢ß Àº ÀÏ·ÃÀÇ ºÐ¼® ¼³ºñ¸¦
ÃÖ°íÀÇ »ç¾çÀ¸·Î °ø±ÞÇÏ¿© ºÐ¼® °á°ú¿¡ ´ëÇÑ »óÈ£ »ó½Â È¿°ú¸¦
°¡Á® ¿À°Ô ÇÏ¿´À¸¸ç ºÐ¼® Lab ¹× ¿¬±¸¼ÒÀÇ ±âÃÊ ÇÙ½É ÀåºñÀÎ SEM / TEM
/FIB ÀÇ Àϰý °ø±Þ ¹× ±â¼ú Áö¿ø ´É·ÂÀ» ¿ÏºñÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ´Ü¼øÇÑ
Àåºñ °ø±Þ À¯Áö º¸¼öÀÇ ´Ü°è¸¦ ³Ñ¾î Ãʱ⠽ü³ Åõ ÀÚ, ¾ÈÁ¤µÈ ¿î¿ë ´É·Â
Áö¿ø µî ¸ðµç ±â¼úÀûÀÎ Áö¿ø¸é¿¡¼ ÃÖ»óÀÇ ¼ºñ½º¸¦ Áö¿ø ÇÏ¿© °í°´ÀÇ
´Ù¾çÇÑ ¿ä±¸¸¦ Ãæ½ÇÈ÷ ÁöÄѰ¡°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ¹ÝµµÃ¼
ºÐ¾ß·Î¼´Â Fei Company ÀÇ SEM / TEM / FIB ¿Í ´õºÒ¾î Light Wind,
Tevet, Neocera,
Spicer Consulting»çÀÇ Àåºñ ¹× ¼¾¼¸¦ °ø±Þ Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
|